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【学会】 Nbの窒化によるアノード酸化皮膜の絶縁性向上
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ID⇒#101@学会;
要約【学会】立花和宏,岡…らは、2002年にで開催された第34回セミコンファレンス(第15回若手の会)においてNbの窒化によるアノード酸化皮膜の絶縁性向上について報告している⇒#101@学会;。
タイトルNbの窒化によるアノード酸化皮膜の絶縁性向上
講演番号
発表者立花和宏,岡田和正,遠藤孝志,仁科辰夫,尾形健明
会議名第34回セミコンファレンス(第15回若手の会)
場所
会期2002/12/10
イベント(会議名&イベント名)
URL
外部J-GLOBAL
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管理者立花 和宏
研究グループ尾形・仁科研究室(旧応用化学C1講座)
PME形式立花和宏,岡田和正,遠藤孝志,仁科辰夫,尾形健明,Nbの窒化によるアノード酸化皮膜の絶縁性向上,第34回セミコンファレンス(第15回若手の会),, ,2002/12/10
書誌情報Nbの窒化によるアノード酸化皮膜の絶縁性向上
立花和宏,岡田和正,遠藤孝志,仁科辰夫,尾形健明,第34回セミコンファレンス(第15回若手の会)講演要旨集 (2002).
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