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【学会】 表面マイクロマシニングによる片持梁型水素ガスセンサ
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ID⇒#149@学会;
要約【学会】奥山澄雄7,…らは、2003年に仙台で開催された平成15年電気学会全国大会(仙台, 2003) 3-121において表面マイクロマシニングによる片持梁型水素ガスセンサについて報告している⇒#149@学会;。
タイトル表面マイクロマシニングによる片持梁型水素ガスセンサ
講演番号
発表者奥山澄雄7,高松幸樹,小刀稱淳,菊池正竜,奥山克郎,松下浩一
会議名平成15年電気学会全国大会(仙台, 2003) 3-121
場所仙台
会期2003/03/19
イベント(会議名&イベント名)
URL
外部J-GLOBAL
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管理者奥山 澄雄
研究グループ尾形・仁科研究室(旧応用化学C1講座)
PME形式奥山澄雄7,高松幸樹,小刀稱淳,菊池正竜,奥山克郎,松下浩一,表面マイクロマシニングによる片持梁型水素ガスセンサ,平成15年電気学会全国大会(仙台, 2003) 3-121,仙台, ,2003/03/19
書誌情報表面マイクロマシニングによる片持梁型水素ガスセンサ
奥山澄雄7,高松幸樹,小刀稱淳,菊池正竜,奥山克郎,松下浩一,平成15年電気学会全国大会(仙台, 2003) 3-121講演要旨集 (2003).

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