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仁科辰夫教授 最終講義 2023.3.17 米沢キャンパス中示A
トンネル…
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Pd-Al2O3-Alトンネルダイオード水素ガスセンサの表面汚染と水素応答


奥山克郎,奥山澄雄,小橋秀章,長沼博 ,山形大学紀要(工学) Vol.27 No.2 pp.19-25(2003).

次世代半導体工場のトンネル搬送


 ,ウルトラクリーンテクノロジー、第10巻、第1号、pp.7-13 (1998).
業績…