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仁科辰夫教授 最終講義 2023.3.17 米沢キャンパス中示A

【ナレッジ】 前処理

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説明
研磨などによって加工や実験の前に試料表面の状態を同じにしておくことです。電極の前処理は大切ですね。

前処理は基板の表面に桑去った物理的不都合(表面の凹凸やきず、潤滑剤なによる汚染など)を除く処理である。この処理を行うとき、基板表面の化学的状態(表面の化学組成)を変化させないように注意しなければならない。基板の前処理はウエット、ドライにかかわらず、全ての表面処理に共通して、形成される皮膜の密着性を左右する非常に重要な工程である。