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仁科辰夫教授　最終講義　２０２３．３．１７　米沢キャンパス中示Ａ
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【ナレッジ】 拡散ポンプ
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説明
ディフュージョンポンプともいいます。油拡散ポンプは0.01mmHg、水銀拡散ポンプは数mmHgぐらいの減圧下でないと動作しませんので、回転ポンプと組み合わせて使います。