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仁科辰夫教授　最終講義　２０２３．３．１７　米沢キャンパス中示Ａ
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【ナレッジ】 半導体材料
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説明
半導体を製造するプロセスで使う材料。化学産業として重要。シリコンウェハ、フォトレジスト、封止材、バックコート剤、層間絶縁膜、ＣＭＰスラリー、プロセス用のガスや洗浄剤などです。