リキッド・クリスタル・ディスプレイ(LCD)。ITOを使った透明電極に液晶をはさんだディスプレイ1)2)。1973年にシャープが世界に先駆けてLCD搭載の電卓を実用化しました。
消費電力が小さいため、トランジスタの作動電圧と同じ電圧で動き、電池で駆動する時計や電卓などのモバイルに多用されました。偏光素子を使っているので、もともとは白黒表示しかできないため、カラー表示にはカラーフィルターを使います第8回:色っぽい話―ディスプレイ3)。小型のものでは日の字型ディスプレイの形状をパターニングしますが、携帯電話はテレビではドットマトリクス表示を行います。発光しないので明るいカラー表示にはバックライトを必要とします。カラー液晶にはカラーフィルターを使う方式とフィールドシーケンシャル方式があります。フィールドシーケンシャル方式では赤、緑、青のLEDを拡散板のサイドエッジから入光します。フレキシブル液晶ディスプレイも開発されつつあります。
最近では時計、電卓、体温計、測定装置、リモコン、ゲーム、携帯電話4)、デジタルカメラ5)、テレビ液晶テレビ6)を始めとして多くの家電製品で使われてます。
ガラス基板はゲート、ソース、保護膜、配向膜、透明電極(ITO)などからなります。
まずはTFT基板とCF基板に分けて製造をはじめます7)。TFT基板となるガラスを受け入れ洗浄し、前洗浄、成膜、レジスト塗布、露光・現像、エッチング、レジスト剥離などの工程を経ます。CF基板の方も同様にガラスを受け入れ洗浄し、電極を形成、配向処理、シール印刷、スペーサー散布などの工程を経ます。TFT基板とCF基板を貼りあわせ、スクライブブレイク、液晶注入、偏光板貼り付け、検査などの工程を経て、さらに制御ICや光源のバックライトを取り付けて液晶パネルが完成します。
大画面パネルを生産するのに畳みたいなガラス基板をぶんぶん回しているって話です(スピンコート)。
|