キーワード-半導体材料

内容
※電気化学の庵／ナレッジ／ナレッジ^ⅰ) 半導体を製造するプロセスで使う材料。化学産業として重要。シリコンウェハ、フォトレジスト、封止材、バックコート剤、層間絶縁膜、ＣＭＰスラリー、プロセス用のガスや洗浄剤などです。
(ⅰ) データベースアメニティ研究所,Ｃ１ラボラトリー,電気化学の庵,半導体材料,3943,(2003).

内容

半導体を製造するプロセスで使う材料。化学産業として重要。シリコンウェハ、フォトレジスト、封止材、バックコート剤、層間絶縁膜、ＣＭＰスラリー、プロセス用のガスや洗浄剤などです。

参考書籍…山形大学附属図書館
(1) 電気化学協会, 半導体材料, , (2025/07/07 13:34:40).
(2) 西沢潤一, 宮本信雄著, 半導体材料学, 近代科学社, (1968.11).
(3) 日本化学会編, 産業化学シリーズ半導体材料, 大日本図書, (1980).
(4) 電気化学協会電子材料委員会編, 半導体材料, 朝倉書店, (1967).
(5) 新美達也, 馬場英夫共著, 半導体材料, コロナ社, (1978.5).
(6) 新美達也, 馬場英夫共著, 半導体材料, コロナ社, (1978.5).
(7) 電気化学協会電子材料委員会編, 半導体材料, 朝倉書店, (1967.4).
(8) 犬塚英夫, 高林真共著, 半導体材料と単結晶の製造, 日刊工業新聞社, (1965.8).
(9) 犬塚英夫, 高林真共著, 半導体材料と単結晶の製造, 日刊工業新聞社, (1965.8).
(10) 前田敬二, 生駒英明著, 半導体材料基礎工学, 日刊工業新聞社, (1994.2).

参考書籍…山形大学附属図書館

(1) 電気化学協会, 半導体材料, , (2025/07/07 13:34:40).

(2) 西沢潤一, 宮本信雄著, 半導体材料学, 近代科学社, (1968.11).

(3) 日本化学会編, 産業化学シリーズ半導体材料, 大日本図書, (1980).

(4) 電気化学協会電子材料委員会編, 半導体材料, 朝倉書店, (1967).

(5) 新美達也, 馬場英夫共著, 半導体材料, コロナ社, (1978.5).

(6) 新美達也, 馬場英夫共著, 半導体材料, コロナ社, (1978.5).

(7) 電気化学協会電子材料委員会編, 半導体材料, 朝倉書店, (1967.4).

(8) 犬塚英夫, 高林真共著, 半導体材料と単結晶の製造, 日刊工業新聞社, (1965.8).

(9) 犬塚英夫, 高林真共著, 半導体材料と単結晶の製造, 日刊工業新聞社, (1965.8).

(10) 前田敬二, 生駒英明著, 半導体材料基礎工学, 日刊工業新聞社, (1994.2).

ページレビュー^※
シボレスページレビュー…／一覧

ページレビュー^※