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ID	⇒#3969
キーワード	スパッタ
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内容

※電気化学の庵／ナレッジ／ナレッジⅰ) 知識内容

(ⅰ)  データベースアメニティ研究所,Ｃ１ラボラトリー,電気化学の庵,スパッタ,3941,(2003).

参考書籍…山形大学附属図書館

(1) 小池邦博著, Co-Cr 基スパッタ薄膜の微細組織と磁気特性に及ぼす複合下地層および熱処理の効果, 山形大学, (2005.9).

(2) 和佐清孝, 早川茂著, スパッタ技術, 共立出版, (1988.6).

(3) 和佐清孝, 早川茂著, スパッタ技術, 共立出版, (1988.6).

(4) 和佐清孝, 早川茂著, スパッタ技術, 共立出版, (1988.6).

(5) R.V.Stuart著/毛利衛, 数坂昭夫共訳, 入門真空・薄膜・スパッタリング, 技報堂出版, (1985.10).

(6) 中村嘉孝 [著], ヘリコンスパッタリング法による酸化物超伝導薄膜の作成と超伝導アンテナへの応用, 山形大学, (1996.3).

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