ガスを検知するセンサー1)。酸化物半導体の表面に酸素吸着することでダングリングボンドが変化し、半導体内部のキャリア濃度の変化が導電率の変化となることを利用したセンサー。
【関連書籍】
分子レベルからみた界面の電位発生機構2)
複合系および接合系における電子伝導3)
ガスセンサ4)
ガスセンサー5)
( 1) エネルギ > 【２００ > 第６講 ｐｎ接合と過電圧、センサー（半導体と界面）, 【２００７年（平成１９）エネ変】立花 和宏, エネルギー変換化学特論, 講義ノート, ( 2007). ( 2) > 分子レベルからみた界面の電位発生機構日本化学会編, 分子レベルからみた界面の電気化学, 東京大学出版会, ( 197). ( 3) 材料物性 > 電気的物 > 複合系および接合系における電子伝導堂山昌男・山本良一, セラミック材料, 東京大学出版会, ( 1986). ( 4) 身のまわ > ガスセンサ竹内節, 吸着の化学―表面・界面制御のキーテクノロジー―, 産業図書, ( 1995). ( 5) 化学セン > ガスセンサー藤嶋昭, 相澤益男, 井上徹著, 電気化学測定法, 技報堂出版, ( 1984).
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