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仁科辰夫教授　最終講義　２０２３．３．１７　米沢キャンパス中示Ａ
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【ナレッジ】 スパッタリング
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説明
アルゴンなどを電界で加速した高いエネルギーをもった粒子を固体に衝突させると、固体表面の原子や分子などが固体表面からたたき出されます。これをスパッタリング現象といいます。その近くに基板などをおけば基板の上に原子や分子が堆積して薄膜が形成されます。このような薄膜形成のドライプロセスをスパッタリングといいます1)。高エネルギー粒子の生成にマグネトロンを使ったスパッタリングをマグネトロンスパッタリングといいます。
(1) ドライプロセス
表面技術協会, 表面処理工学　基礎と応用, 日刊工業新聞社, (2000).