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2015年10月10日 震災から復旧 米沢高等工業学校本館

【キーワード】 ドライプロセス


項目
ID⇒#2396
キーワードドライプロセス
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内容
ドライプロセス真空技術を使うプロセスが多い。デポジションとしては真空蒸着PVD)、イオンプレーティングスパッタリングCVD(化学蒸着)、溶融めっき、溶射、ライニングなどがあり、表面改質として熱処理、拡散浸透法、イオン窒化、イオン浸炭、イオン注入、プラズマ処理、レーザー処理、樹脂含浸、エッチング、などがあります。産業では溶液を使うウェットプロセスと違って廃液がないため環境保全に有利といわれています1
(1表面処理工学 基礎と応用
表面技術協会, 日刊工業新聞社, (2000/02/28).


参考書籍…山形大学附属図書館
(1) 精密工学会表面改質に関する調査研究分科会編, 表面改質技術 : ドライプロセスとその応用, 日刊工業新聞社, (1988.9).
(2) 小林春洋〔ほか〕著, ドライプロセス応用技術 : 超微細素子の製法, 日刊工業新聞社, (1984.7).
(3) 小林春洋〔ほか〕著, ドライプロセス応用技術 : 超微細素子の製法, 日刊工業新聞社, (1984.7).
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