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仁科辰夫教授　最終講義　２０２３．３．１７　米沢キャンパス中示Ａ
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【ナレッジ】 表面分析
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説明
オージェ電子分光1)などで表面を分析することです。

固体表面に照射された入射粒子や入射光と固体表面との相互作用の結果を利用した分析法が多くあります。入射粒子（プローブ）としては、電子、イオン、Ｘ線、紫外線などが使われ、表面との相互作用ののちに反射してくる電子、イオン、Ｘ線、光などの二次粒子をデテクトします。

電子プローブを使った場合、表面から放出される粒子は反射電子、二次電子、オージェ電子、連続Ｘ線、特性Ｘ線、吸着原子、イオンなどです。