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【キーワード】 エッチング
金属や半導体、セラミックスなどの材料を、腐食そのほかによって部材を除去する加工方法)金属の腐食(エッチング加工)1)。ドライエッチング(ドライプロセス)とウェットエッチング(ウェットプロセス)があります。表面のモルフォロジーを制御します。
ドライエッチングは半導体半導体のつくり方―前工程2)や液晶パネル液晶パネルのつくり方3)の製造にかかせません。
ケミカルミーリングとフォトエッチングに大別されます。
フォトエッチングでは、銅を加工するグラビアロール、ICのリードフレーム、鉄を加工するカラーテレビのシャドウマスク、などを製造します。機械加工技術の向上でリードフレームはほとんどがスタンピングでつくられるようになりました株式会社ルネサス北日本セミコンダクタ米沢工場4)。
アルミ電解コンデンサ5)の拡面処理や印刷のPS版6)に使われます信英蓄電器箔株式会社@長野県上伊那郡7)。
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