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金属や半導体、セラミックスなどの材料を、腐食そのほかによって部材を除去する加工方法）1)。ドライエッチング（ドライプロセス）とウェットエッチング（ウェットプロセス）があります。表面のモルフォロジーを制御します。
ドライエッチングは半導体2)や液晶パネル3)の製造にかかせません。
ケミカルミーリングとフォトエッチングに大別されます。
フォトエッチングでは、銅を加工するグラビアロール、ＩＣのリードフレーム、鉄を加工するカラーテレビのシャドウマスク、などを製造します。機械加工技術の向上でリードフレームはほとんどがスタンピングでつくられるようになりました4)。
アルミ電解コンデンサ5)の拡面処理や印刷のＰＳ版6)に使われます7)。
【関連書籍】
プリント配線について学ぼう8)
表面の機能化9)
【動画】10)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…
 特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）, 表面加工とエネルギー変換遠藤 昌敏, 無機・分析化学応用実験, 講義ノート, ( 2007).  品質管理 > ２００７ > 第５講 > 半導体の > 半導体のつくり方―前工程, 半導体のつくり方立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007).  品質管理 > ２００７ > 第５講 > 液晶パネルのつくり方, 第５講 品質管理と品質保証立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007).  > 株式会社ルネサス北日本セミコンダクタ米沢工場, 仁科 辰夫, 仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, ( 2006).  電気・電 > 信英蓄電器箔株式会社＠長野県上伊那郡, 電気・電子（コンデンサ）仁科 辰夫, 仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, ( 2005).  ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011).
( 1) 特になし > 電池の起 > 表面加工 > 金属の腐食（エッチング加工）, 表面加工とエネルギー変換遠藤 昌敏, 無機・分析化学応用実験, 講義ノート, ( 2007). ( 2) 品質管理 > ２００７ > 第５講 > 半導体の > 半導体のつくり方―前工程, 半導体のつくり方立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007). ( 3) 品質管理 > ２００７ > 第５講 > 液晶パネルのつくり方, 第５講 品質管理と品質保証立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007). ( 4) > 株式会社ルネサス北日本セミコンダクタ米沢工場, 仁科 辰夫, 仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, ( 2006). ( 5) > アルミニウムのエッチング永田伊佐也, 電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ, 日本蓄電器工業株式会社, , ( 1997). ( 6) > 表面処理と機能化山下正通、小沢昭弥, 現代の電気化学, 丸善, , ( 2012). ( 7) 電気・電 > 信英蓄電器箔株式会社＠長野県上伊那郡, 電気・電子（コンデンサ）仁科 辰夫, 仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, ( 2005). ( 8) > プリント配線について学ぼう小林一也, 工業技術基礎, 実教出版, p.98, ( 2002). ( 9) 表面処理 > 表面の機能化山下正通、小沢昭弥, 現代の電気化学, 丸善, , ( 2012). ( 10) ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011).
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(1)塩酸中におけるアルミニウム交流エッチングのサイクリッククロノポテンショメトリーによる検討
松木健三,立花和宏,菅原陸郎,船越明,菅沼栄一,金属表面技術, Vol.39, No.12, pp.796-802,,(1988).
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| 参考書籍…山形大学附属図書館 |
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( 3) Petzow, Gunter, 金属エッチング技術, , (2023/05/30 7:12:52). |
( 4) Petzow, Gunter, 金属エッチング技術, , (2023/05/30 7:12:52). |
( 5) Petzow, Gunter, 金属エッチング技術, , (2023/05/30 7:12:52). |
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