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2015年10月10日 震災から復旧 米沢高等工業学校本館

【キーワード】 フォトリソグラフィー


項目
ID⇒#2388
キーワードフォトリソグラフィー
ソース情報
品詞
内容
1.フォトリソグラフィーのいろいろ
レジスト塗布して露光パターニングする加工技術

もともとはフォトリソグラフィーチンググラビア印刷の版作っていましたプリント基板製造なのどにも応用されます

おおくは半導体集積回路の製造1)2)3)テレビシャドウマスク製造などの微細加工使う技術なっています4)

光の波長以下では電子描画やX線描画が行われます5)

関連講義
無機工業化学,半導体と印刷技術6)
半導体と印刷フォトリソグラフィー20117)

動画8)
ピカッとさいえんすフォトリソグラフィー
http://a.yamagat…

動画9)
ピカッとさいえんす印刷技術
http://a.yamagat…



品質管理 > 2007 > 第5講  > 半導体のつくり方,第5講 品質管理と品質保証
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).

無機工業 > 2008 > 半導体とフォトリソグラフィー(2008),2008年(H20年度)―無機工業化学
立花 和宏,無機工業化学, 講義ノート, (2008).

特になし > 電子の波 > 光で加工しよう~フォトリソグラフィー/SEM,電子の波長とエネルギー
立花 和宏,基礎量子化学, 講義ノート, (2005).

無機工業 > 2013 > 半導体と印刷技術,2013年(H25年度)―無機工業化学
立花 和宏,無機工業化学, 講義ノート, (2013).

無機工業 > 2011 > 半導体と印刷、フォトリソグラフィー(2010A),2011年(H23年度)―無機工業化学
立花 和宏,無機工業化学, 講義ノート, (2011).

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

ピカッと > 印刷技術,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

(1品質管理 > 2007 > 第5講  > 半導体のつくり方,第5講 品質管理と品質保証
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
(2無機工業 > 2008 > 半導体とフォトリソグラフィー(2008),2008年(H20年度)―無機工業化学
立花 和宏,無機工業化学, 講義ノート, (2008).
(3 > LSI製造の前工程
西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, , (2003).
(4 > 高分子化学
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, , (2004).
(5特になし > 電子の波 > 光で加工しよう~フォトリソグラフィー/SEM,電子の波長とエネルギー
立花 和宏,基礎量子化学, 講義ノート, (2005).
(6無機工業 > 2013 > 半導体と印刷技術,2013年(H25年度)―無機工業化学
立花 和宏,無機工業化学, 講義ノート, (2013).
(7無機工業 > 2011 > 半導体と印刷、フォトリソグラフィー(2010A),2011年(H23年度)―無機工業化学
立花 和宏,無機工業化学, 講義ノート, (2011).
(8ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
(9ピカッと > 印刷技術,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).


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