| 項目 | 値 |
| 題目 | フォトリソグラフィー |
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| 説明 |
1.フォトリソグラフィーのいろいろ
レジストを塗布して露光しパターニングする加工技術。
もともとはフォトリソグラフィーでエッチングでグラビア印刷の版を作っていました。プリント基板の製造なのどにも応用されます。
おおくは半導体の集積回路の製造1)2)3)やテレビのシャドウマスク製造などの微細加工に使う技術となっています4)。
光の波長以下では電子描画やＸ線描画が行われます5)。
【関連講義】
無機工業化学,半導体と印刷技術6)
半導体と印刷、フォトリソグラフィー（２０１１Ａ）7)
【動画】8)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://a.yamagat…
【動画】9)
ピカッとさいえんす「印刷技術」
http://a.yamagat…
 品質管理 > ２００７ > 第５講 > 半導体のつくり方, 第５講 品質管理と品質保証立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007).  無機工業 > ２００８ > 半導体とフォトリソグラフィー（２００８）, ２００８年（Ｈ２０年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2008).  特になし > 電子の波 > 光で加工しよう～フォトリソグラフィー／ＳＥＭ, 電子の波長とエネルギー立花 和宏, 基礎量子化学, 講義ノート, ( 2005).  無機工業 > ２０１３ > 半導体と印刷技術, ２０１３年（Ｈ２５年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2013).  無機工業 > ２０１１ > 半導体と印刷、フォトリソグラフィー（２０１０Ａ）, ２０１１年（Ｈ２３年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2011).  ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011).  ピカッと > 印刷技術, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011).
( 1) 品質管理 > ２００７ > 第５講 > 半導体のつくり方, 第５講 品質管理と品質保証立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007). ( 2) 無機工業 > ２００８ > 半導体とフォトリソグラフィー（２００８）, ２００８年（Ｈ２０年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2008). ( 3) > ＬＳＩ製造の前工程西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, , ( 2003). ( 4) > 高分子化学野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, , ( 2004). ( 5) 特になし > 電子の波 > 光で加工しよう～フォトリソグラフィー／ＳＥＭ, 電子の波長とエネルギー立花 和宏, 基礎量子化学, 講義ノート, ( 2005). ( 6) 無機工業 > ２０１３ > 半導体と印刷技術, ２０１３年（Ｈ２５年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2013). ( 7) 無機工業 > ２０１１ > 半導体と印刷、フォトリソグラフィー（２０１０Ａ）, ２０１１年（Ｈ２３年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2011). ( 8) ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011). ( 9) ピカッと > 印刷技術, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011). |
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