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2015年10月10日 震災から復旧 米沢高等工業学校本館

【キーワード】 レジスト


項目
ID⇒#2390
キーワードレジスト
ソース情報
品詞
内容
耐腐食性の感光材料フォトレジストや電子線レジストがあります1)

フォトリソグラフィープロセス2)パターニングに使う絵の具のようなものです3)

半導体や液晶パネル4)製造欠かせません5)

関連書籍
表面の機能化6)
高分子化学7)

動画8)
ピカッとさいえんすフォトリソグラフィー
http://c1.yz.yam…


(1 > 高分子化学
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
(2エネルギ > 第8回:色っぽい話―ディスプレイ,エネルギー変換化学@2006
立花 和宏,エネルギー変換化学, 講義ノート, (2006).
(3いざ、工 > JSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント,いざ、工場見学に出発!
仁科 辰夫,仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, (2003).
(4品質管理 > 2007 > 第5講  > 液晶パネ > TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程,液晶パネルのつくり方
立花 和宏,品質管理, 講義ノート, (2007).
(5 > 工場見学!モノがつくられる工程をみる
松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, (2004).
(6表面処理 > 表面の機能化
山下正通、小沢昭弥, 現代の電気化学, 新星社, (1990).
(7 > 高分子化学
野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, (2004).
(8ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).


参考書籍…山形大学附属図書館
(2) 野々垣三郎著, 微細加工とレジスト, 共立出版, (1987.11).
(3) 野々垣三郎著, 微細加工とレジスト, 共立出版, (1987.11).
(4) 野々垣三郎著, 微細加工とレジスト, 共立出版, (1987.11).
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