|
説明 |
耐腐食性の感光材料。フォトレジストや電子線レジストがあります1)。
フォトリソグラフィープロセスで2)、パターニングに使う絵の具のようなものです3)。
半導体や液晶パネル4)の製造には欠かせません5)。
【関連書籍】
表面の機能化6)
高分子化学7)
【動画】8)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…
エネルギ > 第8回:色っぽい話―ディスプレイ, エネルギー変換化学@2006立花 和宏, エネルギー変換化学, 講義ノート, ( 2006). いざ、工 > JSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント, いざ、工場見学に出発!仁科 辰夫, 仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, ( 2003). 品質管理 > 2007 > 第5講 > 液晶パネ > TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程, 液晶パネルのつくり方立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007). ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011).
( 1)  > 高分子化学野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, ( 2004). ( 2)  エネルギ > 第8回:色っぽい話―ディスプレイ, エネルギー変換化学@2006立花 和宏, エネルギー変換化学, 講義ノート, ( 2006). ( 3)  いざ、工 > JSR(株)四日市プラント、(株)イーテック四日市プラント, いざ、工場見学に出発!仁科 辰夫, 仁科先生の工場見学ルポ, 講義ノート, ( 2003). ( 4)  品質管理 > 2007 > 第5講 > 液晶パネ > TFTアレイ(薄膜半導体配列)製造工程, 液晶パネルのつくり方立花 和宏, 品質管理, 講義ノート, ( 2007). ( 5)  > 工場見学!モノがつくられる工程をみる松林光男、渡辺弘, イラスト図解 工場のしくみ, 日本実業出版社, ( 2004). ( 6)  表面処理 > 表面の機能化山下正通、小沢昭弥, 現代の電気化学, 新星社, ( 1990). ( 7)  > 高分子化学野村正勝・鈴鹿輝男, 最新工業化学―持続的社会に向けて―, 講談社サイエンティフィク, ( 2004). ( 8)  ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011). |
|