光機能材料

ホトレジスト

ネガ型レジスト

ポジ型レジスト

ホトレジストの応用例

印刷用凸版（図）

プリント基板配線（図）

集積回路（図）

電子線レジスト

¹⁾

フォトリソグラフィー²⁾

フォトリソグラフィー　半導体　エッチング　現像　凸版印刷

• (1) 野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, 2004. .
• (2) 立花　和宏. 無機工業化学：フォトリソグラフィー. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4741.  (参照2018-06-18).

¹⁾

フォトリソグラフィー²⁾

フォトリソグラフィー　半導体　エッチング　現像　凸版印刷

• (1) 野村正勝・鈴鹿輝男. 最新工業化学―持続的社会に向けて―. 講談社サイエンティフィク, 2004. .
• (2) 立花　和宏. 無機工業化学：フォトリソグラフィー. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=4741.  (参照2018-06-18).

http://campus3.k…

【教科書指定】

エネルギー変換化学¹⁾

エネルギー変換化学のアウトラインエネルギー変換化学＠２００６²⁾

無機工業化学³⁾

【関連書籍】⁴⁾

• (1) エネルギー変換化学,精密応用化学専修コース（Ｈ１６）,etc,物質化学工学科,山形大学
  立花　和宏,シラバス-山形大学, (2011).
• (2) 立花和宏. エネルギー変換化学：エネルギー変換化学＠２００６. https://edu.yz.yamagata-u.ac.jp/developer/Asp/Youzan/@Lecture.asp?nLectureID=1177.  (参照2006-10-01).
• (3) 無機工業化学,精密応用化学専修コース（Ｈ１７）,etc,物質化学工学科,山形大学
  立花　和宏,シラバス-山形大学, (2021).
• (4) P. W. Atkins [著]/千原秀昭, 稲葉章訳. 物理化学要論. 東京化学同人, 1998. .