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仁科辰夫教授 最終講義 2023.3.17 米沢キャンパス中示A
洗浄…
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珪砂の洗浄に関する研究


菅野,木俣,滝口,佐藤,長谷川 ,山形大学紀要(工学),25(1),15-24(1998).

すぐ使える洗浄技術


分担執筆 ,工業調査会(2001).

次世代ウェハ洗浄技術の最新動向(2)


 ,国際技術情報誌 M & E, pp.168-176 (2000).

次世代ウェハ洗浄技術の最新動向(1)


 ,国際技術情報誌 M & E, pp.132-137 (2000).

メガソニック洗浄と今後


 ,超音波TECHNO、第12巻、第9号、pp.2-9 (2000).

RCA洗浄溶液に生成する活性種の評価


外塚聖享、加藤正行、大見忠弘、都田昌之 ,信学技報、SDM96-127, pp.71-78(1996).

ウエハ洗浄溶液のラジカル活性に対する超音波照射の影響


加藤正行、落合武臣、大見忠弘、都田昌之  ,信学技報、SDM96-128, pp.79-86(1996).
業績…