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ID	⇒#2793
キーワード	スパッタリング
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※電気化学の庵／ナレッジ／ナレッジⅰ) アルゴンなどを電界で加速した高いエネルギーをもった粒子を固体に衝突させると、固体表面の原子や分子などが固体表面からたたき出されます。これをスパッタリング現象といいます。その近くに基板などをおけば基板の上に原子や分子が堆積して薄膜が形成されます。このような薄膜形成のドライプロセスをスパッタリングといいます1)。高エネルギー粒子の生成にマグネトロンを使ったスパッタリングをマグネトロンスパッタリングといいます。 (1) ドライプロセス 表面技術協会, 表面処理工学　基礎と応用, 日刊工業新聞社, (2000).

(ⅰ)  データベースアメニティ研究所,Ｃ１ラボラトリー,電気化学の庵,スパッタリング,2275,(2003).

参考書籍…山形大学附属図書館

(1) R.V.Stuart著/毛利衛, 数坂昭夫共訳, 入門真空・薄膜・スパッタリング, 技報堂出版, (1985.10).

(2) 中村嘉孝 [著], ヘリコンスパッタリング法による酸化物超伝導薄膜の作成と超伝導アンテナへの応用, 山形大学, (1996.3).

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