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2015年10月10日 震災から復旧 米沢高等工業学校本館

【キーワード】 CVD


項目
ID⇒#3904
キーワードCVD
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品詞
内容
ケミカルベーパーデポジション化学蒸着こと原料ガス種々の方法で活性化して基材表面目的する析出作るドライプロセス1)活性化の方法として熱CVDプラズマCVDCVDなどがあります表面コーティング作成に使われます物理蒸着法はPVDいいます
(1ドライプロセス
表面技術協会, 表面処理工学 基礎と応用, 日刊工業新聞社, (2000).


参考書籍…山形大学附属図書館
(1) 化学工学会編集, CVDハンドブック, 朝倉書店, (1991.6).
(2) 化学工学会編集, CVDハンドブック, 朝倉書店, (1991.6).
(3) 化学工学会編集, CVDハンドブック, 朝倉書店, (1991.6).
(4) 化学工学会編集, CVDハンドブック, 朝倉書店, (1991.6).
(5) , The MOCVD challenge, Hilger, (c1989).
(6) edited by Toivo T. Kodas and Mark J. Hampden-Smith, The chemistry of metal CVD, VCH, (c1994).
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