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仁科辰夫教授　最終講義　２０２３．３．１７　米沢キャンパス中示Ａ
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【ナレッジ】 微細加工
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説明
フォトリソグラフィーを使って半導体集積回路を製造するなど微細な加工をすること1)。ホコリが大敵なのでクリーンルーム中で作業します。

【動画】2)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
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