ＬＳＩ製造の前工程

半導体ができるまでの全工程概観
前工程／後工程

洗浄技術と洗浄装置
半導体は超きれい好き！

クリーンルーム

成膜技術と膜の種類
３種類の形成方法

微細加工をするためのリソグラフィ技術とは？
リソグラフィ技術工程の流れ

トランジスタ寸法の限界を決める露光技術とは？
ステッパー（縮小投影型露光装置）／ステッパーの光源／露光機延命と今後の露光技術

３次元微細加工のエッチングとは？
２種類のエッチング方法

不純物拡散工程とは？
シリコンにＰ型やＮ型半導体領域を作る

ＣＭＯＳインバータの製造プロセスを理解しよう
サンプルＣＭＯＳのフォトマスク／ＣＭＯＳプロセスフロー

【関連講義】ピカッとさいえんす,フォトリソグラフィー¹⁾

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

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