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【レビュー】 LSI製造の前工程
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タイトルLSI製造の前工程
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書誌情報西久保靖彦. よくわかる最新半導体の基本と仕組み. 秀和システム, 2003. .
更新日2011/04/28 11:30:43
レビューワAM\tachibana

LSI製造の前工程

半導体ができるまでの全工程概観
前工程後工程

洗浄技術と洗浄装置
半導体は超きれい好き!

クリーンルーム

成膜技術と膜の種類
種類の形成方法

微細加工するためのリソグラフィ技術とは?
リソグラフィ技術工程の流れ

トランジスタ寸法の限界決める露光技術とは?
ステパー縮小投影型露光装置ステパーの光源露光機延命と今後の露光技術

次元微細加工チング
種類チング方法

不純物拡散工程とは?
シリコンにP型やN型半導体領域作る

CMOSインバータの製造プロセス理解しよう
サンプルCMOSフォトマスクCMOSプロセスフロー

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