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【キーワード】 クリーンルーム


項目
ID⇒#928
キーワードクリーンルーム
ソース情報
品詞
内容
フォトリソグラフィー使う半導体製造にはホコリ大敵1)特に微細加工で作る集積回路の配線はミクロン以下なので小さなホコリが岩石に見えてしまいます

クリーンブースクリーンベンチ併用することもあります

このクリーンルームの技術応用した家電製品マイナスイオンでうわさの空気清浄機と言えるでしょう

2)3)4)

動画5)
ピカッとさいえんすフォトリソグラフィー
http://c1.yz.yam…

動画6)
丁目サイエンス劇場トボトルの秘密
http://c1.yz.yam…


米沢キャ > 9号館(総合教育研究棟),米沢キャンパス
仁科 辰夫,山形大学工学部, 講義ノート, (2006).

実験・実 > 特殊実験・実習における安全指針,実験・実習における安全の手引
仁科 辰夫,山形大学工学部, 講義ノート, (2007).

無機工業 > 2007 > 食品、包装、バイオ(2007),2007年(H19年度)―無機工業化学
立花 和宏,無機工業化学, 講義ノート, (2008).

ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

四丁目サ > ペットボトルおさかなキャッチャー~浮沈子と圧力~,四丁目サイエンス劇場
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2006).

(1 > LSI製造の前工程
西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, , (2003).
(2米沢キャ > 9号館(総合教育研究棟),米沢キャンパス
仁科 辰夫,山形大学工学部, 講義ノート, (2006).
(3実験・実 > 特殊実験・実習における安全指針,実験・実習における安全の手引
仁科 辰夫,山形大学工学部, 講義ノート, (2007).
(4無機工業 > 2007 > 食品、包装、バイオ(2007),2007年(H19年度)―無機工業化学
立花 和宏,無機工業化学, 講義ノート, (2008).
(5ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).
(6四丁目サ > ペットボトルおさかなキャッチャー~浮沈子と圧力~,四丁目サイエンス劇場
立花 和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2006).


参考書籍…山形大学附属図書館
(1) 環境科学フォーラム編, クリーンルームのおはなし, 日本規格協会, (2001.3).
(2) 日本規格協会編集, クリーンルーム, 日本規格協会, (1989-).
(3) 日本規格協会編集, クリーンルーム, 日本規格協会, (1989-).
(4) , クリーンルーム技術と材料, シーエムシー, (1990.12).
(5) 日本空気清浄協会編, クリーンルームハンドブック, オーム社, (1989.1).
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