表面解析 3.1.表面解析法の種類と特徴 3.1.1.X線光電子分光法(XPS) 3.2.電子を用いた解析法 3.2.1.電子顕微鏡(SEMとTEM) 3.2.2.オージェ電子分光法(AES) 3.2.3.電子線マイクロアナライザ(EPMA) 3.3.光を用いた解析法 3.4.イオンを用いた解析法 3.5.その場(in situ)表面解析法3.2. ウェットプロセスの基礎 , 3.3. ウエットプロセスによる析出膜の機能特性表面処理工学 基礎と応用1)(1) 表面処理工学 基礎と応用表面技術協会, 日刊工業新聞社, (1900).