別名ＥＳＣＡ。Ｘ線光電子スペクトロスコピー1)。元素分析のための機器分析装置。固体表面にＸ線を照射すると、光電効果によって表面原子から光電子が放出されます。光電子の運動エネルギーを測定することで、原子内の電子の結合エネルギーがわかり、構成元素が分析できます。ケミカルシフトをみることで状態分析したり、試料をアルゴンイオンエッチングして深さ方向分析もします2)3)4)。
【物理量】結合エネルギー5)
( 1) 実験方法 > 装置と器 > 装置、器 > 機器分析 > ＸＰＳ（ＥＳＣＡ）, 機器分析仁科 辰夫, 卒業研究（Ｃ１-電気化学, 講義ノート, ( 2008). ( 2) > 固体状態井上 勝也 著, 現代物理化学序説 改訂版, 培風館, ( 198). ( 3) > 表面状態測定法：電極表面をプローブする藤嶋昭, 相澤益男, 井上徹著, 電気化学測定法, 技報堂出版, ( 1984). ( 4) ＥＳＣＡ-1000用データシステム, 島津製作所 ＥＳＣＡ-ＶＩＳＩＯＮ2, , ( , ). ( 5) 結合エネルギー( ) [ ジュール].
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