| 項目 | 値 |
| 題目 | クリーンルーム |
| リンク | |
| - | ナレッジ |
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| 説明 |
フォトリソグラフィーを使う半導体製造にはホコリが大敵1)。特に微細加工で作る集積回路の配線はミクロン以下なので、小さなホコリが岩石に見えてしまいます。
クリーンブースやクリーンベンチを併用することもあります。
このクリーンルームの技術を応用した家電製品がマイナスイオンでうわさの空気清浄機と言えるでしょう。
2)3)4)
【動画】5)
ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」
http://c1.yz.yam…
【動画】6)
四丁目サイエンス劇場「ペットボトルの秘密」
http://c1.yz.yam…
 米沢キャ > ９号館（総合教育研究棟）, 米沢キャンパス仁科 辰夫, 山形大学工学部, 講義ノート, ( 2006).  実験・実 > 特殊実験・実習における安全指針, 実験・実習における安全の手引仁科 辰夫, 山形大学工学部, 講義ノート, ( 2007).  無機工業 > ２００７ > 食品、包装、バイオ（２００７）, ２００７年（Ｈ１９年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2008).  ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011).  四丁目サ > ペットボトルおさかなキャッチャー～浮沈子と圧力～, 四丁目サイエンス劇場立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2006).
( 1) > ＬＳＩ製造の前工程西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, , ( 2003). ( 2) 米沢キャ > ９号館（総合教育研究棟）, 米沢キャンパス仁科 辰夫, 山形大学工学部, 講義ノート, ( 2006). ( 3) 実験・実 > 特殊実験・実習における安全指針, 実験・実習における安全の手引仁科 辰夫, 山形大学工学部, 講義ノート, ( 2007). ( 4) 無機工業 > ２００７ > 食品、包装、バイオ（２００７）, ２００７年（Ｈ１９年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2008). ( 5) ピカッと > フォトリソグラフィー, ピカッとさいえんす立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2011). ( 6) 四丁目サ > ペットボトルおさかなキャッチャー～浮沈子と圧力～, 四丁目サイエンス劇場立花 和宏, ピカッとさいえんす, 講義ノート, ( 2006). |
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