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ID	⇒#790
キーワード	微細加工
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※電気化学の庵／ナレッジ／ナレッジⅰ) フォトリソグラフィーを使って半導体集積回路を製造するなど微細な加工をすること1)。ホコリが大敵なのでクリーンルーム中で作業します。 【動画】2) ピカッとさいえんす「フォトリソグラフィー」 http://c1.yz.yam… ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす 立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011). (1)  > ＬＳＩ製造の前工程 西久保靖彦, よくわかる最新半導体の基本と仕組み, 秀和システム, (2003). (2) ピカッと > フォトリソグラフィー,ピカッとさいえんす 立花　和宏,ピカッとさいえんす, 講義ノート, (2011).

(ⅰ)  データベースアメニティ研究所,Ｃ１ラボラトリー,電気化学の庵,微細加工,1672,(2002).

参考書籍…山形大学附属図書館

(1) 楢岡清威, フォトエッチングと微細加工, , (2021/05/12 12:25:28).

(2) 高分子学会編, ナノバイオ : 微細加工と計測技術の新展開, エヌ・ティー・エス, (2005.10).

(3) 高分子学会編, ナノバイオ : 微細加工と計測技術の新展開, エヌ・ティー・エス, (2005.10).

(4) 麻蒔立男著, トコトンやさしい超微細加工の本, 日刊工業新聞社, (2004.1).

(5) 高分子学会編, 微細加工技術, エヌ・ティー・エス, (2002.9).

(6) 楢岡清威著, エレクトロニクスの精密微細加工, 総合電子出版社, (1980.9).

(7) 楢岡清威著, エレクトロニクスの精密微細加工, 総合電子出版社, (1980.9).

(8) 谷口紀男著, ナノテクノロジの基礎と応用 : 超精密・超微細加工とエネルギビーム加工, 工業調査会, (1988.11).

(9) 麻蒔立男著, 超微細加工の基礎 : 半導体製造技術, 日刊工業新聞社, (1993.3).

(10) 中野朝安 [ほか] 著, 微細加工 : サブミクロン素子への展開, 東京電機大学出版局, (1989.3).

(11) 古川静二郎, 浅野種正 共著, 超微細加工入門, オーム社, (1989.6).

(12) 古川静二郎, 浅野種正 共著, 超微細加工入門, オーム社, (1989.6).

(13) 古川静二郎, 浅野種正 共著, 超微細加工入門, オーム社, (1989.6).

(14) 野々垣三郎著, 微細加工とレジスト, 共立出版, (1987.11).

(15) 野々垣三郎著, 微細加工とレジスト, 共立出版, (1987.11).

(16) 野々垣三郎著, 微細加工とレジスト, 共立出版, (1987.11).

(17) 楢岡清威,二瓶公志共著, フォトエッチングと微細加工, 総合電子出版社, (1977.5).

(18) 楢岡清威,二瓶公志共著, フォトエッチングと微細加工, 総合電子出版社, (1977.5).

(19) 楢岡清威, 二瓶公志共著, フォトエッチングと微細加工, 総合電子出版社, (1978).

(20) 楢岡清威, 二瓶公志共著, フォトエッチングと微細加工, 総合電子出版社, (1978).

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