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仁科辰夫教授 最終講義 2023.3.17 米沢キャンパス中示A
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説明
別名ESCA。X線光電子スペクトロスコピー1)。元素分析のための機器分析装置。固体表面にX線を照射すると、光電効果によって表面原子から光電子が放出されます。光電子の運動エネルギーを測定することで、原子内の電子の結合エネルギーがわかり、構成元素が分析できます。ケミカルシフトをみることで状態分析したり、試料をアルゴンイオンエッチングして深さ方向分析もします2)3)4)。

【物理量】結合エネルギー5)