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2015年10月10日 震災から復旧 米沢高等工業学校本館

【キーワード】 真空蒸着


項目
ID⇒#2807
キーワード真空蒸着
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品詞
内容
真空通常P=10^-5Torr以下1)物質加熱発生した蒸気基板上に凝縮付着させて作る薄膜のドライプロセス融点の高いタングステンなどバスケフィラメントに使いますが融点の高くタングステン合金化しやすいニオブタンタルなど蒸着するときはダメモトりましょう

食品包装などに使われる機能性プラスチクフィルム機能あたえるのにはアルミニウムアルミナなど蒸着したりします2)

ドライプロセス3)



参考書籍…山形大学附属図書館
(1) Schiller,S, 真空蒸着, , (2019/06/19 4:07:03).
(3) ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著/日本真空技術株式会社訳, 真空蒸着, アグネ, (1977.5).
(4) ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著/日本真空技術株式会社訳, 真空蒸着, アグネ, (1977.5).
(5) ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著/日本真空技術株式会社訳, 真空蒸着, アグネ, (1977.5).
(6) ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著/日本真空技術株式会社訳, 真空蒸着, アグネ, (1977.5).
(7) ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著/日本真空技術株式会社訳, 真空蒸着, アグネ, (1977.5).
(8) 沢木司著, 真空蒸着, 日刊工業新聞社, (1965.3).
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