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| 説明 |
真空中（通常、P=10^-5Torr以下1)）で物質を加熱し、発生した蒸気を基板上に凝縮、付着させて作る薄膜のドライプロセスです。融点の高いタングステンなどをバスケットやフィラメントに使いますが、融点の高く、タングステンと合金化しやすいニオブやタンタルなどを蒸着するときは、ダメモトでやりましょう。
食品包装などに使われる機能性プラスチックフィルムに機能性をあたえるのにはアルミニウムやアルミナなど蒸着したりします2)。
ドライプロセス3)
( 1) P, 圧力, pressure, パスカル, ( 物理量). ( 2) 食品、包装、バイオ（２００８）, ２００８年（Ｈ２０年度）―無機工業化学立花 和宏, 無機工業化学, 講義ノート, ( 2008). ( 3) ドライプロセス表面技術協会, 表面処理工学 基礎と応用, 日刊工業新聞社, ( 2000). |
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